| 摘要 |
一种位置测量模组的结构中具备有：移动镜，设于移动体，且沿着第１轴方向具有反射面；检测光单元，针对上述第１轴方向上排列着的多个测量轴中的每一个而配置，沿着与上述第１轴方向交叉的第２轴方向来对上述移动镜照射检测光；基准光单元，包含固定在与上述移动体不同的构件上的固定镜，且对该固定镜照射基准光；多个光路结合元件，针对每一个上述测量轴，对由上述移动镜反射的上述检测光的各检测光路进行光路结合，或者对经由上述基准光单元的上述基准光的基准光路与上述检测光路进行光路结合；以及检测部，对经由上述光路结合元件而入射的上述检测光与上述基准光的干涉所引起的干涉条纹进行检测，并根据该干涉条纹的检测结果，测量上述移动体于上述第２轴方向上的位置。 |
