发明名称 SCHLEIFARTIKEL ZUR MODIFIZIERUNG EINER HALBLEITERSCHEIBE
摘要 <p>An abrasive article includes a fixed abrasive element, a resilient element, a rigid element disposed between the resilient element and the fixed abrasive element, and a plurality of microstructures disposed between the rigid element and the fixed abrasive element.</p>
申请公布号 DE60127179(D1) 申请公布日期 2007.04.19
申请号 DE2001627179 申请日期 2001.06.14
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES CO. 发明人 BRUXVOORT, WESLEY J.
分类号 B24B37/22;B24B37/24;B24D13/12;B24D13/14;H01L21/304 主分类号 B24B37/22
代理机构 代理人
主权项
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