MASS SPECTROMETER

摘要

Das Massenspektrometer zeichnet sich dadurch aus, dass es vollständig planar aufgebaut ist, die Komponenten auf einem ebenen nichtleitenden Substrat angeordnet sind, es einen als Sektor, insbesondere 90°-Sektor ausgeführten Energiefilter (k) für die Ionen aufweist, die Ionisationskammer (b), die Elektroden (g, h j) zum Beschleunigen der Elektronen und Ionen, der Detektor (1) für die Ionen und der Energiefilter (k) durch Photolithographie und Ätzen eines auf das Substrat und die Verdrahtung aufgebrachten dotierten Halbleiterplättchens hergestellt sind und die vorgenannten Teile durch ein zweites flaches nichtleitendes Substrat bedeckt sind.