发明名称 |
Method for forming a contact region |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0427254(B1) |
申请公布日期 |
1997.01.29 |
申请号 |
EP19900121381 |
申请日期 |
1990.11.08 |
申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
YODA, TAKASHI;WATANABE, TOHRU |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|