用于对工件构图的方法和装置以及制造该装置的方法

摘要

一种用于对工件构图的装置包括源、适于利用相移板和阶跃高差中的至少之一来引起相位差的至少一反射倾斜表面。一种对应于对工件构图的装置的方法。一种制造对工件构图的装置和其中所包括的空间光调制器的方法。

主权项

1.一种空间光调制器，包括：衬底；至少一反射面，包括至少两部分，适于在由所述至少两部分反射的辐射之间引起相位差；其中所述相位差由相位板和所述至少两部分之间的阶跃高差中的至少之一引起。