发明名称 | 复合气相沉积材料和由其制成的复合沉积薄膜 | ||
摘要 | 公开了一种复合气相沉积材料,适用于制作用于有机电致发光元件的低光反射率电极。这种复合气相沉积材料包括有孔穴的低电阻率包套和由填充在孔穴中的高蒸汽压金属粉末与低电阻率金属粉末混合物组成的芯。低电阻率包套可以由铝制成,高蒸汽压金属粉末可由锰制成,低电阻率金属粉末可由铝制成。由复合气相沉积材料沉积的复合薄膜具有从初始沉积阶段低光反射率到最终沉积阶段低电阻率的连续变化的成分。 | ||
申请公布号 | CN100343414C | 申请公布日期 | 2007.10.17 |
申请号 | CN03140685.8 | 申请日期 | 2003.06.03 |
申请人 | 日立金属株式会社 | 发明人 | 古市真治 |
分类号 | C23C14/06(2006.01) | 主分类号 | C23C14/06(2006.01) |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
主权项 | 1.一种复合气相沉积材料,用于制备从初始沉积阶段到最终沉积阶段成分连续变化的复合沉积薄膜,包括具有孔穴的低电阻率金属包套,和由填充在孔穴中的高蒸汽压金属粉末与低电阻率金属粉末混合物组成的芯,高蒸汽压金属具有比组成包套的低电阻率金属和填充在孔穴中的低电阻率金属中的任一个更高的蒸汽压,其中低电阻率金属具有与铝相等或更低的电阻率,其中初始沉积阶段所形成复合沉积薄膜的成分主要包含高蒸汽压金属,最终沉积阶段所形成的复合沉积薄膜的成分主要包含低电阻率金属,以及在可见光范围内初始沉积阶段的成分的光反射率小于最终沉积阶段的成分。 | ||
地址 | 日本东京 |