| 摘要 |
【課題】排ガス流を処理する改善された技術を提供することにある。【解決手段】本発明のプロセスガス除害装置はバーナを有し、該バーナが燃焼チャンバを備え、該燃焼チャンバは、製造プロセスツールからの排ガス流を受入れて燃焼チャンバ内で準大気圧で処理すべく作動でき、燃焼チャンバは更に、燃料、酸化剤および希釈剤を受入れるべく作動でき、燃料、酸化剤および希釈剤は燃焼チャンバ内の燃焼を制御して排ガス流を処理し、処理された排出流を生成し、希釈剤は処理された排出流中で凝縮できる。不活性で凝縮可能な形態の希釈剤を供給することにより、燃焼チャンバ内の体積ゲインが低減され、このため排出流の体積が縮小されかつ第２ポンプに作用する体積負荷が軽減される。したがって、第２ポンプにより大気圧まで上昇させる必要がある燃焼チャンバからのガスの体積が低減されるため、かなりの動力を低減できる。【選択図】図１ |
