一种光束的微小位移测量方法及测量设备

摘要

本发明涉及一种光束的微小位移测量方法及测量设备，该方法包括以下步骤：距离柱面镜中心线所在平面垂直距离x₀处的激光投射到柱面镜上，通过柱面镜反射到观测屏上x₁处；激光发射器移动微小位移dx后，距离柱面镜中心线所在平面垂直距离x₀+dx处的激光投射到柱面镜上，通过柱面镜反射到观测屏上x₂处：由公式即可计算出光微小位移dx，式中h为柱面镜中心线到观测屏的距离，r为柱面镜的半径，a、b为常数，a＝r²-x₀²，b＝2x₀²-r²；该设备包括激光发射器、三维移动平台、柱面镜及观测屏，激光发射器设在三维移动平台上，柱面镜与激光发射器位于同一高度，观测屏位于激光发射器及柱面镜的侧面。与现有技术相比，本发明结构简单，操作方便，设备造价低，检修维护方便，测量精度更高。

主权项

一种光束的微小位移测量方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)距离柱面镜中心线所在平面垂直距离x₀处的激光投射到柱面镜上，通过柱面镜反射到观测屏上x₁处；(2)激光发射器移动微小位移dx后，距离步骤(1)所述的柱面镜中心线所在平面垂直距离x₀+dx处的激光投射到柱面镜上，通过柱面镜反射到观测屏上x₂处；(3)由公式$1/\mathrm{dx}=(8h{x_0}^{2}a+b^2\sqrt{a}+2h{b}^2)/\left[b^2\sqrt{a}(x_2-x_1)\right]-8x_0/b$即可计算出待测的光微小位移dx，式中h为柱面镜中心线到观测屏的距离，r为柱面镜的半径，a、b为常数，a＝r²‑x₀²，b＝2x₀²‑r²。