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经营范围
发明名称
METHOD FOR REFINEMENT OF NITROGEN TRIFLUORIDE GAS
摘要
申请公布号
JPH04275909(A)
申请公布日期
1992.10.01
申请号
JP19910033295
申请日期
1991.02.28
申请人
MITSUI TOATSU CHEM INC
发明人
HARADA ISAO;HOKOGAHARA HISASHI;YAMAGUCHI TOSHIAKI
分类号
C01B21/083
主分类号
C01B21/083
代理机构
代理人
主权项
地址
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