摘要 |
Ein Vakuumsystem mit einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfasst wenigstens eine Rohrleitung, insbesondere eine Einlass- oder Auslassrohrleitung, mit einem Ende, an welchem eine um eine Längsachse der Rohrleitung umlaufende, in einer Ebene liegende Stirnseite ausgebildet ist, wobei ein Gegenflansch eines Vakuumgeräts an der Stirnseite angeordnet werden kann, insbesondere mit wenigstens einem dazwischen liegenden Element, wie etwa einer Dichtung, wobei ein Flansch um die Rohrleitung herum angeordnet ist, der mittels Schrauben mit dem Gegenflansch zur Herstellung einer Flansch-Gegenflansch-Verbindung verbindbar ist, und wobei der Flansch in Richtung der Längsachse versetzt zu der durch die Stirnseite verlaufenden Ebene an der Rohrleitung angeordnet ist. |