LOAD LOCK ASSEMBLY AND METHOD FOR PARTICLE REDUCTION

摘要

공정 시스템으로부터 이동될 때, 저장 부분에 저장되기 전에, 로드 록에서 웨이퍼가 실질적으로 방전된다. 이러한 방전은 웨이퍼로부터 일부 정전하 입자를 분리하는 데 도움이 된다. 또한 벤팅 및/또는 퍼징 사이클 동안 입자는 로드 록 내부의 교류(turbulence)를 생성함으로써 제거될 수 있다. 이들 입자 제거 동작은 전체 공정 처리량에 유의미한 영향을 미치지 않고 수행될 수 있다.