液晶显示面板、阵列基板及其制造方法

摘要

本发明提供一种阵列基板的制造方法，通过彩色滤光片的光罩制程以及黑矩阵的光罩制程形成凸柱，由凸柱实现Sub PS的作用，无需用以制造Sub PS的光罩(包括灰阶光罩和半色调光罩)，从而减少制造PS所使用的光罩的类型及数量，简化制程并降低生产成本。本发明还提供一种采用上述方法制造的阵列基板和液晶显示面板。

主权项

一种阵列基板的制造方法，其特征在于，所述方法包括：在基材上依次形成栅极、绝缘层、有源半导体层；在所述有源半导体层上形成源极和漏极；在所述绝缘层上形成信号线；在所述源极、所述漏极和所述绝缘层上形成彩色滤光片，所述彩色滤光片包括由同一光罩形成的第一彩色滤光片和第二彩色滤光片，所述第一彩色滤光片形成有暴露所述漏极的表面的接触孔，第二彩色滤光片形成于所述第一彩色滤光片上且位于所述源极和漏极的上方；在所述彩色滤光片上形成黑矩阵，所述黑矩阵包括由同一光罩形成的第一黑矩阵和第二黑矩阵，所述第一黑矩阵形成于所述第一彩色滤光片上且对应位于所述信号线的上方，所述第二黑矩阵形成于所述第二彩色滤光片上且对应位于所述漏极和/或所述源极的上方；在所述第一彩色滤光片上以及所述接触孔内形成像素电极，以使所述像素电极通过所述接触孔与所述漏极电连接；其中，所述第二黑矩阵和所述第二彩色滤光片形成凸柱，且所述凸柱高出所述像素电极的顶面。