| 摘要 |
제1 면 상에 좁은 폭의 레지스트 패턴을 안정적으로 설치할 수 있는 금속판을 제공한다. 금속판의 제조 방법은, 니켈을 포함하는 철 합금을 포함하는 판재를 준비하는 준비 공정을 구비하고 있다. 판재로부터 얻어지는 금속판의 제1 면의 조성 분석을, X선 광전자 분광법을 이용하여 실시한 결과로서 얻어지는, 니켈 산화물의 피크 면적값과 니켈 수산화물의 피크 면적값의 합을 A1이라고 하고, 철 산화물의 피크 면적값과 철 수산화물의 피크 면적값의 합을 A2라고 할 경우, A1/A2가 0.4 이하로 되어 있다. |
