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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessieranordnung (100) zumindest Folgendes aufweisen: eine Prozesskammer (102) mit einem Prozessierbereich (111) zum Prozessieren eines Substrats innerhalb der Prozesskammer; eine Transportvorrichtung (104) zum Transportieren des Substrats mittels eines Substratträgers (106) entlang einer Transportrichtung (101) in dem Prozessierbereich (111); wobei die Transportvorrichtung (104) mindestens ein erstes Transportelement (104a) und mindestens ein zweites Transportelement (104b) aufweist zum Tragen des Substratträgers (106) in dem Prozessierbereich (111), wobei das mindestens eine erste Transportelement (104a) auf einer ersten Seite (111a) des Prozessierbereichs (111) angeordnet ist, und wobei das mindestens eine zweite Transportelement (104b) auf einer der ersten Seite (111a) gegenüberliegenden zweiten Seite (111b) des Prozessierbereichs (111) angeordnet ist; und eine erste Gasseparationsstruktur (110a), welche bezüglich der Transportrichtung (101) vor und/oder hinter dem mindestens einen ersten Transportelement (104a) derart bereitgestellt ist, dass die erste Gasseparationsstruktur (110a) und der mittels der Transportvorrichtung (104) transportierte Substratträger (106) einen ersten Gasseparationsspalt (113a) bilden. |
