Verdampferkörper sowie Betrieb eines solchen Verdampferkörpers

摘要

Der Verdampferkörper (2) dient zum Einsatz in einer PVD-Verdampfungsanlage und weist eine Oberseite (4) mit einer zentralen Verdampferfläche (6) auf. Um ein Ausbreiten einer aufgebrachten Metallschmelze bis zu stirnseitig angeordneten Elektroden bei gleichzeitig einfachem Aufbau zu verhindern, ist die Verdampferfläche (6) in Längsrichtung (x) unmittelbar von einer Quernut (8B) begrenzt, die eine Barriere für die auf die Verdampferfläche (6) aufgebrachte Metallschmelze bildet.