发明名称 |
XY平台模块及其制造方法和使用其的存储系统 |
摘要 |
本发明提供了一种XY平台模块、包括其的存储系统和制造所述XY平台模块的方法。XY平台模块包括:底板;XY平台,在所述底板上方沿第一方向和垂直所述第一方向的第二方向水平地移动;支撑单元,设置在所述底板上以弹性地支撑所述XY平台;加强构件,用于防止所述XY平台旋转;和位置传感器,具有设置在所述加强构件的一边并具有至少一个可移动梳的可移动梳状结构,和固定在所述底板上并具有至少一个与所述可移动梳啮合并分开预定间隔的固定梳的固定梳状结构,用于根据所述可移动梳和固定梳的啮合度测量所述XY平台在所述第一方向和第二方向的移动。 |
申请公布号 |
CN101000800A |
申请公布日期 |
2007.07.18 |
申请号 |
CN200610125691.3 |
申请日期 |
2006.08.31 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
朴弘植;丁柱焕;洪承范;闵桐基 |
分类号 |
G11C13/00(2006.01);B81B7/00(2006.01);B81C5/00(2006.01) |
主分类号 |
G11C13/00(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
1.一种XY平台模块,包括:底板;XY平台,在所述底板上方沿第一方向和垂直所述第一方向的第二方向水平地移动;支撑单元,设置于所述底板以弹性地支撑所述XY平台;加强构件,用于防止所述XY平台旋转;和位置传感器,具有设置在所述加强构件的一边并具有至少一个可移动梳的可移动梳状结构,和固定在所述底板上并具有至少一个与所述可移动梳啮合并分开预定间隔的固定梳的固定梳状结构,用于根据所述可移动梳和固定梳的啮合度测量所述XY平台在所述第一方向和第二方向的移动。 |
地址 |
韩国京畿道 |