一种真空镀膜系统及其真空闸门装置

摘要

本发明公开了一种真空镀膜系统及其真空闸门装置。真空镀膜系统包括真空闸门装置及真空闸门板，真空闸门装置包括支撑座、弹性密封机构、双摇杆机构及旋转驱动件；弹性密封机构包括固定件、金属密封板及弹性组件；双摇杆机构连接在弹性密封机构与旋转驱动件之间。利用双摇杆机构实现弹性密封机构的弧线运动，结构简单，占用空间小，且便于安装及维护；采用简单的旋转驱动装置即可实现真空闸门装置的致动，金属密封板与真空闸门板面面贴合实现密封，提高密封性能；金属密封板具备良好的耐腐蚀和耐高温性能；由于弹性组件的弹性作用与金属密封板的配合具备一定柔性变形补偿作用，从而降低了真空闸门板及密封板的机械精度，降低加工及装配难度。

主权项

一种真空闸门装置，用于开关真空闸门板上的开口，其特征在于，所述真空闸门装置包括支撑座、弹性密封机构、双摇杆机构及旋转驱动件；所述支撑座相对所述真空闸门板固定设置；所述弹性密封机构包括固定件、金属密封板及弹性组件；所述固定件位于所述金属密封板远离所述真空闸门板的一侧；所述金属密封板为平板状，用于与所述真空闸门板面面贴合以将所述开口封闭；所述弹性组件连接在所述固定件与所述金属密封板之间，用于提供弹力使所述金属密封板压紧于所述真空闸门板；所述双摇杆机构连接在所述弹性密封机构与所述旋转驱动件之间，其包括主动摇杆、从动摇杆及连杆，所述主动摇杆的一端传动连接于所述旋转驱动件、另一端转动连接于所述连杆，所述从动摇杆的两端分别转动连接于所述支撑座及所述连杆；所述连杆与所述固定件固定连接；所述旋转驱动件固定于所述支撑座，用于带动所述主动摇杆摆动，并驱动所述弹性密封机构与所述真空闸门板抵接或分离；所述支撑座包括两个相对设置的支撑板；所述真空阀门装置还包括主动转轴，所述主动转轴的一端传动连接至所述旋转驱动件，另一端通过转动结构连接至一所述支撑板；所述转动机构包括固定座及轴承，所述固定座为柱状，其具有轴向相对的第一端和第二端，所述固定座的第一端设有环形凸缘，一所述支撑板上设有与所述环形凸缘相配合的阶梯孔，所述固定座的第一端固定于所述阶梯孔中；所述固定座的第二端端面开设有固定孔，所述轴承设置在所述主动转轴与所述固定孔的孔壁之间。