| 发明名称 |
改善されたオーバレイ補正のための低接触インプリントリソグラフィテンプレート用チャックシステム |
| 摘要 |
構造的支持機能を実質的に維持しながら、インプリント品質保持機能を有意に増強する、インプリントリソグラフィテンプレート用チャック並びに関連するシステム及び方法を提供する。上記チャックは、位置合わせ及び歪補正中にテンプレートの接触を有意に低減しながら、分離時に良好な構造的支持を提供し続けるために、動的真空シールを組み込む。【選択図】図６ |
| 申请公布号 |
JP2016539499(A) |
申请公布日期 |
2016.12.15 |
| 申请号 |
JP20160528843 |
申请日期 |
2014.11.07 |
| 申请人 |
キャノン・ナノテクノロジーズ・インコーポレーテッド;株式会社東芝 |
发明人 |
マイスル，マリオ・ジョハンネス;チェララ，アンシュマン;チェ，ビュン−ジン;ベイムスバーガー，セス・ジェイ |
| 分类号 |
H01L21/027;B29C33/30;B29C59/02;H01L21/683 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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