| 摘要 |
본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 란탄족 금속 전구체에 관한 것으로, 상기 란탄족 금속 전구체는 열적으로 안정하므로 양질의 란탄족 금속 박막을 형성할 수 있다. [화학식 1](상기 식에서, M은 란탄족 금속이고, R, R는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기, 플루오르화 알킬기이고, R은 H이거나, C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기, 플루오르화 알킬기이고, R및 R는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이다.) |
