发明名称 低温制备C轴择优取向二氧化钛薄膜的方法
摘要 本发明提出了一种低温制备c轴择优取向二氧化钛薄膜的方法。该方法是将钛的氟化物或/和氟钛酸盐溶解在纯水中,然后加入硼酸作为氟离子捕获剂,配成处理溶液,处理溶液的pH值为1.0~2.3,把不锈钢基片垂直浸入到上述处理溶液中,密封后放入温度为40~80℃的烘箱中保温处理5~24小时,取出不锈钢基片并用蒸馏水或去离子水冲洗,在<100℃干燥,即得到c轴择优取向二氧化钛薄膜。本方法所获得的c轴择优取向二氧化钛薄膜除了可用作光电子功能材料、建筑和装饰装修材料之外,还可用于污水处理、室内外空气净化及杀菌;同时制备方法简单,具有工业化生产的前景。
申请公布号 CN1786264A 申请公布日期 2006.06.14
申请号 CN200510019713.3 申请日期 2005.11.01
申请人 武汉理工大学 发明人 余家国;余火根;程蓓
分类号 C23C18/00(2006.01);C01G23/053(2006.01) 主分类号 C23C18/00(2006.01)
代理机构 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 代理人 张安国
主权项 1、一种制备c轴择优取向二氧化钛薄膜的方法,其特征在于低温制备法,制备步骤依次为:第1、将钛的氟化物或/和氟钛酸盐溶解在纯水中,然后加入硼酸作为氟离子捕获剂,搅拌均匀配成处理溶液,处理溶液中钛的氟化物或/和氟钛酸盐的摩尔浓度为0.005~0.1M,钛的氟化物或/和氟钛酸盐与硼酸的摩尔比为1∶0~5,处理溶液的pH值为1.0~2.3;第2、把不锈钢基片垂直浸入到步骤1配制的处理溶液中,密封后放入温度为40~80℃的烘箱中保温处理5~24小时;第3、取出经过步骤2保温处理的不锈钢基片并用蒸馏水或去离子水冲洗、在<100℃干燥,即得到c轴择优取向二氧化钛薄膜;其中,所述的钛的氟化物是四氟化钛,氟钛酸盐为氟钛酸氨、氟钛酸钾或氟钛酸钠。
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