发明名称 用微波等离子体在热塑性容器中沉积内部屏蔽涂料的装置
摘要 一种用于利用微波等离子体在由热塑性塑料制成的容器(5)的内壁上沉积屏蔽涂料的装置,该装置包括多个容器处理站(1),每个容器处理站(1)包括处理罩(2)和形成盖(3)并包括真空泵室的上塞,在真空泵室中,用于密封连接到容器(5)的连接器(4)包括与容器(5)的颈(7)共轴的大体管状形状的套筒(6),每个盖(3)还支撑与套筒(6)共轴并适于在处理期间将反应流体注入容器(5)中的注射器(8),其中,形成站组的多个相邻站的选自套筒(6)和注射器(8)中的构件被固定到以桥的形式跨越站(1)的盖(3)延伸的单个支撑板(15,20)上,由此板(15,20)和由板支持的站组的站(1)的构件(6,8)构成能够作为一体被操纵的整体组件(16,21)。
申请公布号 CN101161859A 申请公布日期 2008.04.16
申请号 CN200710163701.7 申请日期 2007.10.11
申请人 西得乐公司 发明人 伊维斯·厄本·杜克拉斯;达米恩·西瑞特
分类号 C23C16/511(2006.01);C23C16/44(2006.01);C23C16/24(2006.01);C23C16/26(2006.01);C23C16/30(2006.01) 主分类号 C23C16/511(2006.01)
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人 徐金国;梁挥
主权项 1.用于利用微波等离子体在由热塑性塑料制成的容器(5)的内壁上沉积屏蔽涂料的装置,该装置包括多个容器处理站(1),每个容器处理站(1)包括处理罩(2)和形成盖(3)并包括真空泵室的上塞,在所述真空泵室中,用于密封连接到容器(5)的连接器(4)包括与容器(5)的颈(7)共轴的大体管状形状的套筒(6),每个盖(3)还支撑与所述套筒(6)共轴的并适用于在处理期间将反应流体注入容器(5)中的注射器(8),其特征在于,形成站组的多个相邻站的选自套筒(6)和注射器(8)中的构件被固定到以桥的形式跨越所述站(1)的盖(3)延伸的单个支撑板(15,20)上,由此所述板(15,20)和由所述板支撑的所述站组的站(1)的构件(6,8)构成整体组件(16,21),该整体组件(16,21)能够作为一体被操纵,以将所述构件(6,8)安装到各自的板(3)上或者从那里移去它们。
地址 法国奥科特维尔