一种硅片清洗水槽

摘要

本实用新型提供了一种硅片清洗水槽，包括水槽箱体，清洗篮，所述清洗篮为中空结构，包括侧壁、中空位置和硅片槽位，其特征在于，还包括一种缓冲装置，所述缓冲装置包括橡胶垫板，所述橡胶垫板放置在所述水槽箱体上，所述橡胶垫板上设有缓冲块，所述缓冲块上放置所述清洗篮。在分插片过程中，硅片在接触硅片清洗篮槽底前先接触到缓冲保护装置上的缓冲块，缓冲块起到缓冲和隔绝的作用，避免了硅片在接触硅片篮槽底瞬间受到的冲击力，对硅片的端面起到很好的保护作用，从而有效避免了硅片崩缺、硅粉脱落、隐裂等缺陷的产生，具有结构简单、成本低，且操作方便、快捷的优点。

主权项

一种硅片清洗水槽，包括水槽箱体(5)，清洗篮(4)，所述清洗篮(4)为中空结构，包括侧壁(401)、中空位置(402)和硅片槽位，其特征在于，还包括一种缓冲装置，所述缓冲装置包括橡胶垫板(1)，所述橡胶垫板放置在所述水槽箱体(5)上，所述橡胶垫板(1)上设有缓冲块(2)，所述缓冲块(2)上放置所述清洗篮(4)。