Auf einer Umwandlung und Verstärkung in der vertikalen und horizontalen Richtung basierendes Makromikro-Kombinations-Glasmaßstab-Messsystem

摘要

Die Erfindung betrifft ein auf einer Umwandlung und Verstärkung in der vertikalen und horizontalen Richtung basierendes Makromikro-Kombinations-Glasmaßstab-Messsystem, das einen Glasmaßstab (1), ein Makromikro-Lesesystem (2), das gegenüber dem Glasmaßstab (1) bewegt werden kann, und ein Zähl- und Bildverarbeitungsmodul umfasst, wobei das Makromikro-Lesesystem (2) auf die Grundfläche der Teilstriche (101) gerichtet ist, parallel zu dem Glasmaßstab (1) angeordnet ist, von dem Glasmaßstab (1) einen bestimmten Abstand hat und eine Referenzlinie (204a) beinhaltet, wobei das Makromikro-Lesesystem (2) die Bilder der Referenzlinie (204a) und der Teilstriche (101) überlappt, wodurch ein überlapptes Bild erhalten wird, in dem die Referenzlinie (204a) mit dem Teilstrich (101) einen bestimmten Winkel θ einschließt. Dadurch ist die Erfindung für den herkömmlichen inkrementalen und absoluten Glasmaßstab geeignet, so dass der Anwendungsbereich groß ist. Durch einen Glasmaßstab für hohe Geschwindigkeit und niedrige Genauigkeit wird eine Makroskala-Wegmessung durchgeführt. Gleichzeitig errechnet ein Mikroskala-Lesemodul durch ein mechanisches und optisches Zählverfahren mit hoher Genauigkeit die Mikroskala-Wegstrecke. Dadurch ist die Erfindung für Glasmaßstab mit einem größeren Abstand der Teilstriche geeignet, so dass die Kosten reduziert werden.