更换等离子体反应室的电极组合的方法

摘要

本发明公开了一种更换用于在半导体衬底加工中使用的等离子体反应室的电极组合的方法。在一种电极组件中，支撑部件可以包括通过弹性接头结合到电极(如硅淋浴头式电极)上的石墨环。弹性接头使得在支撑部件与电极之间可以移动，来补偿由于电极组件的温度循环产生的热膨胀。弹性接头可以包括导电和/或导热填料，弹性体可以是高温稳定的催化剂固化的聚合物。

主权项

1.一种更换用于在半导体衬底加工中使用的等离子体反应室的电极组件的方法，包括将可移动地安装于等离子体反应室中的第一电极组件更换为第二电极组件，所述第二电极组件包括：具有结合表面的支撑部件；RF驱动电极，在其一侧具有RF能量化的表面，在其相对的一侧上的外边缘有结合表面，与所述支撑部件的结合表面相配合；和在所述电极的外边缘和所述支撑部件之间的弹性接头，在其温度循环过程中所述弹性接头把所述电极弹性连接到支撑部件上，其中，所述更换包括将支撑部件夹持到等离子体反应室内部的温度控制元件上，所述支撑部件包括一个夹持到温度控制元件的支撑环，所述电极包括一个淋浴头式电极，所述温度控制元件包括向所述淋浴头式电极提供工艺气体的气体通道。