摘要 |
Zur Erhöhung der Strahlqualität und -geometrie und zur Verbesserung des Strahlprofils wird ein realer Strahl mit einer Linse (21) fokussiert. In dem Fokusbereich werden mindestens zwei Blenden (30) und (31) mit definierten Öffnungen verwendet. Für die Öffnungen der Blenden ist die Abmessung des Strahlquerschnitts an der jeweiligen axialen Position der Blende maßgeblich. Je nach der Geometrie des Eingangsstrahls (11) können die Blenden eine kreisförmige Öffnung, eine elliptische Öffnung oder eine rechteckige Öffnung haben. Vorzugsweise werden die Abmessungen der Blendenöffnung an verschiedenen Positionen so gewählt, dass sie etwa dem 1,2fachen bis 2fachen der Abmessung des Querschnitts eines entsprechenden Gauß'schen Strahl entsprechen. Ein weiteres Kriterium für die Abmessung der Blende ist die Position der ersten Minima um das zentrale Maximum der Intensitätsverteilung. |