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经营范围
发明名称
HEAT TREATMENT SYSTEM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR20060095369(A)
申请公布日期
2006.08.31
申请号
KR20050017003
申请日期
2005.02.28
申请人
VIATRON TECHNOLOGIES INC.
发明人
OH, MOON SEOK;YOUK, GEUN MOK
分类号
H01L21/324
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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