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发明名称 Magnetic bearing type vacuum pump
摘要
申请公布号 EP1233189(B1) 申请公布日期 2007.05.02
申请号 EP20020250895 申请日期 2002.02.08
申请人 BOC EDWARDS JAPAN LIMITED 发明人 MAEJIMA, YASUSHI;TAKAMINE, MASAYOSHI
分类号 F04D19/04;F04D29/02;F04D29/04;F04D29/048;F04D29/053;F04D29/056;F16C32/04;F16C39/06 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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