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发明名称
新規の重合体およびこれを含む組成物
摘要
本発明は、多用途に使用可能な新規の重合体およびこれを含む組成物に関し、本発明の重合体と組成物は、機械的、光学的特性に非常に優れた半導体装置の製造に非常に有用である。【選択図】図1
申请公布号
JP2016530375(A)
申请公布日期
2016.09.29
申请号
JP20160536040
申请日期
2014.08.22
申请人
ディーエヌエフ シーオー., エルティーディー.DNF CO., LTD.;エスケーシー シーオー., エルティーディー.SKC CO., LTD.;パク ジュー ヒョンPARK Joo Hyeon
发明人
パク ジュー ヒョン;キム ミョン ウーン;リー サン イック;ビュン タエ ソク;ソン スン;クウォン ヨン ヒー;ジュン イン キュン;リョウ ジューン サン
分类号
C08G61/00;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/3065
主分类号
C08G61/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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