发明名称 新規の重合体およびこれを含む組成物
摘要 本発明は、多用途に使用可能な新規の重合体およびこれを含む組成物に関し、本発明の重合体と組成物は、機械的、光学的特性に非常に優れた半導体装置の製造に非常に有用である。【選択図】図1
申请公布号 JP2016530375(A) 申请公布日期 2016.09.29
申请号 JP20160536040 申请日期 2014.08.22
申请人 ディーエヌエフ シーオー., エルティーディー.DNF CO., LTD.;エスケーシー シーオー., エルティーディー.SKC CO., LTD.;パク ジュー ヒョンPARK Joo Hyeon 发明人 パク ジュー ヒョン;キム ミョン ウーン;リー サン イック;ビュン タエ ソク;ソン スン;クウォン ヨン ヒー;ジュン イン キュン;リョウ ジューン サン
分类号 C08G61/00;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/3065 主分类号 C08G61/00
代理机构 代理人
主权项
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