真空泵用配件、西格班型排气机构、以及复合型真空泵

摘要

本发明提供将具有排气作用的管道和管道有效地相连的真空泵用配件以及西格班型排气机构，并且，提供将具有排气作用的管道和管道有效地相连的复合型真空泵。本发明的实施方式的真空泵是具备将具有排气作用的管道和管道有效地相连的真空泵用配件以及西格班型排气机构的复合型真空泵。固定圆板形成有具有峰部和谷部的螺旋状槽（螺旋槽），在作为对置于旋转圆筒（旋转体圆筒部）的一侧的内径部、或配设于外周侧的固定圆筒的内径侧的双方或某一个上具有突起（突出）部。另外，旋转圆板形成有具有峰部和谷部的螺旋状槽，在配设于内周侧的旋转圆筒的外径部、或作为该旋转圆板对置于间隔件的一侧的外径部的双方或某一个上具有突起（突出）部。

主权项

一种真空泵用配件，其特征在于，具有在至少一部分上配设有螺旋槽的圆板状部，在下述面中的至少某1个面的至少一部分上配设有突起：前述圆板状部的未配设前述螺旋槽的内周侧面或外周侧面、或者配设于前述圆板状部的内周侧并与该圆板状部同心的圆筒状部的外周侧面、或配设于前述圆板状部的外周侧并与该圆板状部同心的圆筒状部的内周侧面。