真空热处理方法及装置

摘要

本发明是一边在减压下供给乙烯气体与氢气的混合气体一边进行的渗碳、碳氮共渗、高温渗碳、高浓度渗碳等真空热处理方法。该真空热处理方法的特征在于，检测真空热处理炉(1)内的乙烯气体量和氢气量，根据测得的乙烯气体量和氢气量计算气氛中的等效碳浓度，以及，将该计算值与基于被处理工件的材质和所要求的热处理性能设定的目标值进行比较，根据计算值与目标值的偏差控制供给真空热处理炉(1)内的乙烯气体和氢气的供给量。采用本发明的方法，可以准确并且再现性良好地获得被处理工件所要求的热处理品质。

主权项

1.真空热处理方法，该方法是一边向减压的真空热处理炉中供给乙烯气体与氢气的混合气体一边进行的真空热处理方法，其特征在于：根据被处理工件的材质，设定多个为了获得所要求的热处理品质而预先求出的处理气氛的等效碳浓度作为目标值；检测真空热处理炉内的乙烯气体量和氢气量；根据测得的乙烯气体量和氢气量计算气氛的等效碳浓度；以及将该计算值与根据预先输入的被处理工件的材质和所要求的热处理品质设定的目标值进行比较，根据计算值与目标值的偏差控制向真空热处理炉内供给的乙烯气体和氢气的供给量。