| 发明名称 |
Werkstoff, insbesondere für ein optisches Bauteil zum Einsatz in der Mikrolithographie und Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers aus dem Werkstoff |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102006018711(B4) |
申请公布日期 |
2008.09.25 |
| 申请号 |
DE200610018711 |
申请日期 |
2006.04.20 |
| 申请人 |
HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG |
发明人 |
KUEHN, BODO;OCHS, STEFAN |
| 分类号 |
C04B35/14;C03B20/00;C30B1/02;C30B29/18 |
主分类号 |
C04B35/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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