| 摘要 |
복수의 상이한 조명 설정을 이용해 표면을 스캐닝하기 위한 방법에 있어서, 상기 방법은, 1회 스윕(sweep) 동안 복수의 이미지를 순차적으로 캡처하는 단계(각각의 이미지는 한 줄 이상의 픽셀 라인을 포함)와, 상기 복수의 이미지를 캡처하기 위해 사용되는 조명 설정을, 지정된 조명 설정 시퀀스와 복수의 이미지 각각을 캡처하기 위한 이미지 유닛의 상대적 위치의 지정된 편이치(shift)에 따라, 순차적으로 변경시키는 단계와, 표면의 특정 영역이 스캔될 때까지 상기 조명 설정 시퀀스의 설정치와 관련 이미지 캡처 위치를 반복하는 단계를 포함하며, 상기 지정된 편이치는 10픽셀에서 1픽셀 이하까지인 것을 특징으로 하는 표면을 스캐닝하기 위한 방법. |
