| 摘要 |
본 발명의 반송 시스템(100)은, 반도체 제조장치(60, 62)의 근방에 설치되어, 피반송물(10)을 수납하는 수납선반(20)과, 수납선반(20)에 있어서 피반송물(10)의 반입 및 반출을 행하는 스태커 크레인(30)과, 피반송물(10)을 반송하는 비히클(vehicle; 40)과, 스태커 크레인(30)에 설치되어, 피반송물(10)의 ID 태그(T)를 읽어내는 ID 태그 리더(R)와, IT 태그 리더(R)에 의해 취득된 식별 정보와 피반송물(10)의 반송 지령에 포함되는 정보가 일치하고 있는 경우에, 반송 지령에 있어서의 반송처에 피반송물(10)을 반송하도록 스태커 크레인(stacker crane; 30)을 제어하는 컨트롤러(50)를 구비하며, 수납선반(20)의 적어도 일부는, 비히클(40)의 그리퍼(gripper; 44)에 의해 피반송물(10)이 출납 가능하게 되어 있다. |
