光接收元件及其制造方法以及具有内建电路的光接收元件

摘要

本发明公开了一种光接收元件及其制造方法以及具有内建电路的光接收元件，其中该元件包括：衬底；以及，外延层，设置在衬底上并包括从外延层的表面延伸至预定深度的杂质扩散层。该预定深度为小于等于约0.3μm。杂质扩散层包括浓度小于约1×10²⁰cm^-3的杂质。其中光接收元件执行具有大于等于约390nm但小于等于约420nm的波长的光的光电转换。以及外延层为具有大于等于约100Ωcm的电阻率的高电阻率层，或者具有大于等于约100Ωcm的电阻率的高电阻率层设置在衬底与外延层之间，从而接触杂质扩散层接近衬底的表面。

主权项

1.一种光接收元件，包括：衬底；以及外延层，设置在衬底上并包括从外延层的表面延伸至预定深度的杂质扩散层，其中：该预定深度为0.3μm或更小，以及杂质扩散层包括浓度小于1×1020cm-3的杂质，其中光接收元件执行具有大于等于390nm但小于等于420nm的波长的光的光电转换，以及外延层为具有大于等于100Ωcm的电阻率的高电阻率层，或者具有大于等于100Ωcm的电阻率的高电阻率层设置在衬底与外延层之间，从而设置在杂质扩散层接近衬底的表面上。