发明名称 | 一种用于激光器无遮挡镀膜的镀膜架装置 | ||
摘要 | 本发明公开了一种镀膜架,其包括:主体,中间薄两端厚,其中一端的端面中间开有两个螺纹孔,另一端表面的上表面开有两个通孔,中间为一具有开口的框架,所述框架的上表面和下表面各有一片金属片相对延伸到矩形方口中间;装配附件,其大小与主体相同,中间厚两端薄,第一端上表面开有两个螺纹孔,位置与所述主体的通孔相对应,同螺纹与所述主体固定;所述装配附件中间为两个高、低凸台,所述两个高、低凸台的高度差不小于主体下表面金属片的厚度,高凸台中间开有一细沟;滑片,在所述主体的矩形框架方口间移动,且由所述两个金属片上下夹持。本发明对镀膜样品完全没有遮挡,大大提高了芯片的利用率,降低了激光器的成本。 | ||
申请公布号 | CN104037617B | 申请公布日期 | 2016.11.16 |
申请号 | CN201410270114.8 | 申请日期 | 2014.06.17 |
申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 赵懿昊;王鸾;刘素平;马骁宇 |
分类号 | H01S5/028(2006.01)I | 主分类号 | H01S5/028(2006.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 宋焰琴 |
主权项 | 一种镀膜架,其包括:主体,中间薄两端厚,其中一端的端面中间开有两个螺纹孔,另一端表面的上表面开有两个通孔,中间为一具有开口的框架,所述框架的上表面和下表面各有一片金属片相对延伸到矩形方口中间;装配附件,其大小与主体相同,中间厚两端薄,第一端上表面开有两个螺纹孔,位置与所述主体的通孔相对应,同螺纹与所述主体固定;所述装配附件中间为两个高、低凸台,所述两个高、低凸台的高度差不小于主体下表面金属片的厚度,高凸台中间开有一细沟;滑片,在所述主体的矩形框架方口间移动,且由所述两个金属片上下夹持。 | ||
地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |