基板检查装置及基板检查方法

摘要

本发明提供基板检查装置及基板检查方法，使用蚀刻模拟来进行误检测少的缺陷检查，且无须为了测量蚀刻信息而使基板在多个装置之间移动。所述基板检查装置根据形成在基板的表面的测量用图案来测量蚀刻曲线，使用该蚀刻曲线进行蚀刻模拟，由此生成检查数据。而且，通过将该检查数据、与形成在基板的表面的配线图案的图像数据加以对照，来检测缺陷。因此，可根据对应于蚀刻曲线而生成的检查数据，来进行误检测少的缺陷检查。而且，在单一的基板检查装置中可进行蚀刻曲线的测量、蚀刻模拟、及缺陷的检测。因此，无须使基板在多个装置之间移动。

主权项

一种基板检查装置，进行通过蚀刻而形成在基板的表面的配线图案的缺陷检查，其特征在于：所述基板检查装置是单一的基板检查装置，且包括：信息测量单元，根据摄像部拍摄形成在所述基板的表面的测量用图案而获取的图像数据，来对表示蚀刻强弱程度的蚀刻信息进行测量；模拟单元，使用所述蚀刻信息，对设计数据进行蚀刻模拟，由此来生成检查数据；以及缺陷检测单元，对形成在所述基板的表面的所述配线图案进行拍摄，通过将所获得的图像数据与所述检查数据加以对照，来检测缺陷，在所述基板的表面设定着多个检查区域，在多个所述检查区域的各检查区域内包含多个单片图案，并且设置着所述测量用图案，所述信息测量单元对所述测量用图案的各测量用图案测量蚀刻信息，所述模拟单元使用从所述各检查区域中所包含的测量用图案而获得的蚀刻信息，对所述检查区域内的一部分的所述单片图案的设计数据，根据与所述检查区域相对应的所述蚀刻信息进行所述蚀刻模拟，并且根据所述蚀刻模拟的结果，来置换所述检查区域内的所有所述单片图案的设计数据，由此，生成所述检查数据，所述缺陷检测单元通过将针对每个所述检查区域获得的每个所述检查数据与每个所述检查区域的图像数据加以对照，来检测缺陷。