发明名称 一种M/MO<sub>x</sub>复合阻氢涂层及其制备方法
摘要 本发明涉及一种M/MO<sub>x</sub>复合阻氢涂层,包括不锈钢基体及施加在其上的M/MO<sub>x</sub>复合涂层。复合涂层中的过渡层M是Al、zr、Er、Y、Cr、Mn、Fe金属,阻氢涂层MO<sub>x</sub>则是过渡层金属的氧化物。复合阻氢涂层均采用反应溅射结合负偏压的技术制备,可以是一层、也可以是多层的复合结构。本发明不仅能有效提高涂层与基底之间的结合力,还有利于涂层本身阻氢性能的提高。
申请公布号 CN105729934A 申请公布日期 2016.07.06
申请号 CN201410766229.6 申请日期 2014.12.11
申请人 北京有色金属研究总院 发明人 张华;李帅;何迪;杜淼;郝雷;刘晓鹏;王树茂;蒋利军
分类号 B32B15/04(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I 主分类号 B32B15/04(2006.01)I
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人 程凤儒
主权项 一种M/MO<sub>x</sub>复合阻氢涂层,其结构为:不锈钢基体/金属过渡层(M)/氧化物阻氢涂层(MO<sub>x</sub>)。
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