| 发明名称 |
OPTICAL METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING THE STRUCTURE OF A SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1668315(A1) |
申请公布日期 |
2006.06.14 |
| 申请号 |
EP20040787251 |
申请日期 |
2004.09.29 |
| 申请人 |
BIAS BREMER INSTITUT FUER ANGEWANDTE STRAHLTECHNIK |
发明人 |
BOTHE, THORSTEN |
| 分类号 |
G01B11/25;G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/25;G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/25 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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