偏光变换元件、光学照明装置、曝光装置以及曝光方法

摘要

一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。

主权项

1.一种偏光变换元件，将沿着所定的光路而行进的入射光的偏光状态变换成一所定的偏光状态，其特征在于其包括：在周方向上被分割的多个区域；其中该厚度分布被设定，使将有约单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，或是有约在径向方向的偏光方向的径方向偏光状态的光；该偏光变换元件设置成以沿着该所定的光路的轴作为中心而可以回转。