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发明名称 MICROMECHANICAL COMPONENT WITH A NUMBER OF CHAMBERS AND PRODUCTION METHOD
摘要
申请公布号 EP1778582(A1) 申请公布日期 2007.05.02
申请号 EP20050740037 申请日期 2005.04.28
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 FISCHER, FRANK;GRAF, ECKHARD;STAHL, HEIKO;KUEPPERS, HARTMUT;SCHEUERER, ROLAND
分类号 B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00 主分类号 B81B7/02
代理机构 代理人
主权项
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