发明名称 Verfahren zum Ausbilden von defektarmen Ersatzflossen für ein FinFET-Halbleiterbauelement sowie daraus resultierende Bauelemente
摘要 Bauelement (100), das umfasst: eine Substratflosse (104), die in einem Substrat (102) ausgebildet ist, das aus einem ersten Halbleitermaterial mit einem Kristallaufbau besteht, wobei wenigstens eine Seitenwand der Substratflosse (104) in einer kristallographischen <100>-Richtung des Kristallaufbaus des Substrats (102) angeordnet ist, einen Ersatzflossenaufbau (114), der über der Substratflosse (104) angeordnet ist, wobei der Ersatzflossenaufbau (114) aus einem Halbleitermaterial besteht, das sich von dem ersten Halbleitermaterial unterscheidet, und einen Gate-Aufbau (200), der um wenigstens einen Teil des Ersatzflossenaufbaus (114) herum angeordnet ist.
申请公布号 DE102014203524(B4) 申请公布日期 2016.12.08
申请号 DE201410203524 申请日期 2014.02.27
申请人 GLOBALFOUNDRIES INC. 发明人 Fronheiser, Jody;JACOB, Ajey P.;MASZARA, Witold P.;AKARVARDAR, Kerem
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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