发明名称 VACUUM PUMP
摘要
申请公布号 JPS5253513(A) 申请公布日期 1977.04.30
申请号 JP19750129079 申请日期 1975.10.27
申请人 NICHIDEN VARIAN KK 发明人 OOSAKO SHINJI
分类号 H01J41/12;F04B37/04 主分类号 H01J41/12
代理机构 代理人
主权项
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