| 发明名称 |
SHEET PRODUCTION APPARATUS SHEET PRODUCTION METHOD AND PRODUCTION FORMED USING THE SAME |
| 摘要 |
이 시트 제조 장치는 용융물을 수용하도록 구성된 채널을 형성하는 용기를 포함한다. 용융물은 채널의 제1 지점으로부터 제2 지점으로 흐르도록 구성된다. 냉각 판은 용융물 근처에 배치되고, 용융물 위에 시트를 형성하도록 구성된다. 배수로는 채널의 제2 지점에 배치된다. 이 배수로는 용융물로부터 시트를 분리시키도록 구성된다. |
| 申请公布号 |
KR101659970(B1) |
申请公布日期 |
2016.09.26 |
| 申请号 |
KR20107022804 |
申请日期 |
2009.03.13 |
| 申请人 |
베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크. |
发明人 |
켈러만, 피터, 엘;싱클레어, 프랭크 |
| 分类号 |
H01L31/18;H01L31/04 |
主分类号 |
H01L31/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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