| 主权项 |
1. 一种附静电吸盘之陶瓷加热器,其特征为:系于由电气绝缘性陶瓷所成之支持基材之表面接合由导电性陶瓷所成的静电吸盘用电极,并且于侧面及背面接合由导电性陶瓷所成的发热层,并于这些上面设置由电气绝缘性陶瓷所成之覆盖层。2. 如申请专利范围第1项之附静电吸盘之陶瓷加热器,其中前述之支持基材及该覆盖层系为:氮化硼、氮化硼和氮化铝之以3:1之比率混合成的混合物、或氮化矽;该静电吸盘用电极及该发热层系为:石墨或碳化矽者。3.如申请专利范围第2项之附静电吸盘之陶瓷加热器,其中前述之支持基材系为:以[线膨胀系数最大値/线膨胀系数最小値]所表示的热膨胀异方性小于3之氮化硼、或氮化硼和氮化铝之混合物者。4. 如申请专利范围第2项之静电吸盘之陶瓷加热器,其中前述之该静电吸盘用电极、该发热层及该覆盖层系利用化学汽相沈析法所制造者。5. 如申请专利范围第1.2或3项之附静电吸盘之陶瓷加热器,其中于该覆盖层上系接合有扩散防止层者。6.如申请专利范围第5项之附静电吸盘之陶瓷加热器,其中前述之该扩散防止层系为:氧化矽或氮化矽者。图示简单说明:第1图系本发明之附静电吸盘之陶瓷加热一例之纵断面图 |
