| 主权项 |
1.一种供取样、储存及运送化学样品的低污染瓶之制造方法,包括:提供一个清洁的环境,其中空气中的杂质保持在低的浓度;在该清洁的环境中提供由选自包括主要是烃聚合物及氟碳聚合物所制成之密合的螺旋盖,该盖子产生低于1ppb可渗的金属污染物及1ppm可渗出的离子性污染物;在该清洁的环境中提供选自包括主要是烃聚合物及氟碳聚合物所制成之清洁的脂,该树脂产生低于1ppb可渗的金属污染物及1ppm可渗出的阴离子及有机污染物;在该清洁的环境中提供清洁的吹塑机器;连接清洁的气体来源制该吹塑机器;在该吹塑机器中使用该清洁的树脂及清洁的气体来源吹塑有螺纹颈部的瓶子部份;及在该清洁的环境中将该螺旋盖套至该瓶子的该螺纹颈部,产生液密式的密封。2.如申请专利范围第1项的低污染瓶之制造方法,其中该清洁的环境包括洁净室环境。3.如申请专利范围第1项的低污染瓶之制造方法,其中该烃聚合物系选自包括主要是低密度聚乙烯、中密度聚乙烯、及高密度聚乙烯,且其中该氟碳聚合物系选自包括主要是PFA、FEP、PTFE、及PEEK。4.如申请专利范围第1项的低污染瓶之制造方法,其中该螺旋盖及该瓶子部份都是化学惰性且相容于制程化学品包括氢氟酸(HF)、氢氯酸(HCl)、硫酸(H2SO4)、磷酸(H3PO4)、硝酸(HNO3)、过氧化氢(H2O2)、氢氧化铵(NH4OH)、四甲基氢氧化铵(TMAH)、及异丙醇(IPA)。5.如申请专利范围第4项的低污染瓶之制造方法,其中该螺旋盖及该瓶子部份还化学惰性且相容于半导体制造制程中使用的显影剂、汽提剂及光阻剂。6.如申请专利范围第1项的低污染瓶之制造方法,其中是在该瓶子从该吹塑制程取出且还温热时,该盖子套至该瓶子的该螺纹颈部。7.一种低污染瓶,含有弯曲性壁部份、螺纹颈部、及套在该颈部而产生液密式密封状态的螺旋盖,其系由以下方法制得:提供一个清洁的环境其中空气中的杂质保持在低的浓度;在该清洁的环境中提供由选自包括主要是烃聚合物及氟碳聚合物所制成之密合的螺旋盖,该盖子产生低于1ppb可渗的金属污染物及1ppm可渗出的离子性污染物;在该清洁的环境中提供选自包括主要是烃聚合物及氟碳聚合物所制成之清洁的脂,该树脂产生低于1ppb可渗的金属污染物及1ppm可渗出的阴离子及有机污染物;在该清洁的环境中提供清洁的吹塑机器;连接清洁的气体来源制该吹塑机器;在该吹塑机器中使用该清洁的树脂及清洁的气体来源吹塑有螺纹颈部的瓶子部份;及在该清洁的环境中将该螺旋盖套至该瓶子的该螺纹颈部,产生液密式的密封。8.如申请专利范围7项的低污染瓶,其中该清洁的环境包括洁净室环境。9.如申请专利范围第7项的低污染瓶,其中该烃聚合物系选自包括主要是低密度聚乙烯、中密度聚乙烯、及高密度聚乙烯,且其中该氟碳聚合物系选自包括主要是PFA、FEP、PTFE、及PEEK。10.如申请专利范围第7项的低污染瓶,其中该螺旋盖及该瓶子部份都是化学惰性且相容于制程化学品包括氢氟酸(HF)、氢氯酸(HCl)、硫酸(H2SO4)、磷酸(H3PO4)、硝酸(HNO3)、过氧化氢(H2O2)、氢氧化铵(NH4OH)、四甲基氢氧化铵(TMAH)、及异丙醇(IPA)。11.如申请专利范围第10项的低污染瓶,其中该螺旋盖及该瓶子部份还化学惰性且相容于半导体制造制程中使用的显影剂、汽提剂及光阻剂。12.如申请专利范围第7项的低污染瓶,其中是在该瓶子从该吹塑制程取出且还温热时,该盖子套至该瓶子的该螺纹颈部。13.一种供储存及运送化学品样品之低污染瓶,包括:界定内部体积之瓶子部份,该瓶子部份含有弯曲性的侧壁部份,当在其上施加压力时,其可减少该内部体积,该瓶子部份含有螺纹颈部,该瓶子部份是用选自主要由烃聚合物及氟碳聚合物制或,该树脂产生低于1ppb可渗出的金属污染物及1ppm可渗出的阴离子及有机污染物,该弯曲性侧壁部份之最小厚度为0.2毫米;及含有螺纹的盖子部份,其可与该瓶子部份之该螺纹颈部囓合,该盖子部份是用选自主要由烃聚合物及氟碳聚合物制成,该树脂产生低于1ppb可渗出的金属污染物及1ppm可渗出的阴离子及有机污染物。14.如申请专利范围第13项的低污染瓶,其中该弯曲性侧壁部份为褶状。15.如申请专利范围第14项的低污染瓶,其中该弯曲性侧壁部份的褶状是以该瓶子部份的垂直轴为中心。16.如申请专利范围第13项的低污染瓶,其中该弯曲性侧壁部份为实质上的圆柱体。17.如申请专利范围第13项的低污染瓶,其中该盖子为密合的盖子,其可提供该瓶子部份的该内部体积与周围环境之间的液密式密封。18.如申请专利范围第17项的低污染瓶,其中该密合的盖子含取样头及提供密封的封盖。19.如申请专利范围第18项的低污染瓶,其中该取样头包括含有孔洞的盖子部份,及与该孔洞囓合的管子部份。20.如申请专利范围第19项的低污染瓶,其中该管子部份含经火处理的端头,防止该管子部份从该孔洞脱落。21.如申请专利范围第18项的低污染瓶,其中该取样头包括含有孔洞的盖子部份,及与该盖子部份一体成形并连接至该孔洞的管子部份。22.如申请专利范围第13项的低污染瓶,其中该螺纹颈部含密合的上表面,表面上有一体成形的取样管并连接至该瓶子部份之该内部体积。23.如申请专利范围第18项的低污染瓶,其中该密合包括内径与该盖子囓合之圆柱形封盖。24.如申请专利范围第18项的低污染瓶,其中该密合包括收缩性的包装物质。25.如申请专利范围第18项的低污染瓶,其中该密合包括与该采样管囓合之圆柱形封盖。26.如申请专利范围第25项的低污染瓶,其中该圆柱形封盖只与该取样管的末端囓合。27.一种供取样液体化学品之低污染取样套件,包括界定内部体积之瓶子部份,该瓶子部份含有弯曲性的侧壁部份,当在其上施加压力时,其可减少该内部体积,该瓶子部份含有螺纹颈部,该瓶子部份是用选自主要由烃聚合物及氟碳聚合物制成,该树脂产生低于1ppb可渗出的金属污染物及1ppm可渗出的阴离子及有机污染物,该弯曲性侧壁部份之最小厚度为0.2毫米;及一个取样头其中包括含有螺纹可与该瓶子部份之该螺纹颈部囓合的盖子部份,及与该瓶子部份之该内部体积经由该盖子部份连接之管子部份,其中各该盖子部份及该管子部份是用选自主要由烃聚合物及氟碳聚合物制成,该树脂产生低于1ppb可渗出的金属污染物及1ppm可渗出的阴离子及有机污染物。28.如申请专利范围第27项的低污染取样套件,其中该瓶子部份及该取样头系密封在清洁的包装内。29.如申请专利范围第28项的低污染取样套件,其中该清洁的包装包括聚丙烯袋。30.如申请专利范围第28项的低污染取样套件,其中该取样头包括盖子部份及管子部份。31.如申请专利范围第30项的低污染取样套件,其中该盖子部份与该管子部份分开。32.如申请专利范围第30项的低污染取样套件,其中该盖子部份连接至该管子部份。33.如申请专利范围第32项的低污染取样套件,其中该盖子部份与该管子部份一体成形。34.如申请专利范围第30项的低污染取样套件,另外还包括封套覆盖至少该取样头的该管子部份。35.如申请专利范围第28项的低污染取样套件,另外还包括密合的螺旋盖,其可与该瓶子部份之螺纹颈部囓合并装置在该清洁的包装内。36.如申请专利范围第35项的低污染取样套件,其中该密合的螺旋盖与该瓶子之螺纹颈部囓合而提供液密式的密封。37.一种用于取样、储存、及运送化学品样品之方法,包括:提供一个密封的瓶子,包括瓶子部份及盖子部份,该瓶子部份界定一个内部体积,该瓶子部份含有可弯曲性的侧壁部份,回应施加压力时其可减少瓶子部份的内部体积,该瓶子部份含有一个有螺纹的颈部,该瓶子部份是用选自主要由烃聚合物及氟碳聚合物制成,该物质产生低于1ppb可渗出的金属污染物及1ppm可渗出的阴离子及有机污染物,该弯曲性侧壁部份之最小厚度为0.2毫米,该盖子部份含有螺纹可与该瓶子部份之螺纹颈部囓合而在该瓶子部份之该内部体积与周围环境之间提供液密式密封,该瓶子部份是用选自主要由烃聚合物及氟碳聚合物制成,该物质产生低于1ppb可渗出的金属污染物及1ppm可渗出的阴离子及有机污染物;打开该密封的瓶子;施力在该弯曲性侧壁部份使该瓶子部份的该内部体积减少;将管子的自由端插入需要取样的液体化学品内,管子的另一端与瓶子部份的内部体积连接,该管子是用选自主要由烃聚合物及氟碳聚合物制成,该馆子产生低于1ppb可渗出的金属污染物及1ppm可渗出的阴离子及有机污染物;将在该可弯曲侧壁上的该压力移开,使该瓶子部份的该内部体积增加,因此经由该管子吸进该液体化学品,在该瓶子部份得到化学品样品;及再度将该瓶子密封供储存及运送该化学品样品,不需要将化学品转移至另一个容器。38.如申请专利范围第37项的供取样、储存、及运送化学品样品之方法,其中该烃聚合物系选自包括主要是低密度聚乙烯、中密度聚乙烯、及高密度聚乙烯,且其中该氟碳聚合物系选自包括主要是PFA、FEP、PTFE、及PEEK。39.如申请专利范围第37项的供取样、储存、及运送化学品样品之方法,其中该螺旋盖及该瓶子部份都是化学惰性且相容于制程化学品包括氢氟酸(HF)、氢氯酸(HCl)、硫酸(H2SO4)、磷酸(H3PO4)、硝酸(HNO3)、过氧化氢(H2O2)、氢氧化铵(NH4OH)、四甲基氢氧化铵(TMAH)、及异丙醇(IPA)。40.如申请专利范围第39项的供取样、储存、及运送化学品样品之方法,其中该螺旋盖及该瓶子部份还化学惰性且相容于半导体制造制程中使用的显影剂、汽提剂及光阻剂。41.如申请专利范围第37项的供取样、储存、及运送化学品样品之方法,另外还包括在打开该密封的瓶子后,将包括该管子的取样头连接至该瓶子部份之螺纹颈部。42.如申请专利范围第37项的供取样、储存、及运送化学品样品之方法,另外还包括在移去该力量后,将该取样头从该瓶子的该螺纹颈部移开。图式简单说明:在第一图中,用略图说明制造供取样、储存、及运送化学样品的低污染物取样装置之方法及制造系统。第二图为本发明方法供制造低污染物瓶子之流程图;第三图为本发明之低污染物取样瓶子;第三图a为沿着第三图的3a-3a线之截面图;第四图为本发明低污染物取样瓶子的瓶子部份之另一个具体实施例;第五图为本发明取样头之部份破裂侧面图;第六图a-第六图c用截面图说明第五图之取样头的数个较佳具体实施例;第七图a-第七图b说明本发明配备内建式取样管的瓶子部份之另一个具体实施例;第八图a-第八图d说明在使用前保持取样头乾净的数个较佳方法;第九图为根据本发明供取样、储存、及运送化学样品的方法之图例;及第十图为说明根据本发明供取样、储存、及运送化学样品的方法之流程图。 |
