| 主权项 |
1.一种具弹性垂直探针之探测卡,包含有:一基板,具有一水平表面;及复数个金属垂直探针,每一金属垂直探针具有一弹性部及一端部,其端部系结合于基板,而探针在弹性部之水平截面积系小于探针在弹性部与端部之间的水平截面积。2.如申请专利范围第1项所述之具弹性垂直探针之探测卡,其中金属垂直探针之弹性部系呈凹陷状。3.如申请专利范围第1项所述之具弹性垂直探针之探测卡,其中金属垂直探针之弹性部系具有一开孔,以供弹性伸缩。图式简单说明:第1图:习知悬臂式探针在接触一半导体装置焊垫之截面示意图;第2图:习知悬臂式探针因热膨胀差异产生位移而无法接触半导体装置焊垫之截面示意图;第3图:在欧盟专利第0838685号「具有被硬质基板弹性支撑之针状探针的探测卡及其制法」中,一探测卡之截面图;第4图:依据本创作之第一具体实施例,一具弹性垂直探针之探测卡之截面图;第5图:依据本创作之第一具体实施例,沿第4图5-5线之截面图;第6图:依据本创作之第一具体实施例,沿第4图6-6线之截面图;及第7图:依据本创作之第二具体实施例,一具弹性垂直探针之探测卡之截面图。 |
