固载室最佳化方法与系统

摘要

一种最佳化一状态变化的方法和系统，可包括将一在一第一状态的负载，例如一晶圆匣、晶圆光阻、添补元件、或其它要被植入的元件等，隔离于一晶圆植入器的固载室中，及例如藉将该固载室泵抽至真空，而使该负载由第一状态转变为一锁固设定状态。该负载嗣会被曝露于一在第二状态的环境，例如在一具有适合于植入条件的植入腔室中，而其将会被该曝露所扰乱，然后该第二状态会被重建。重建第二状态的时间可被最佳化成为达到该锁固设定状态之时间的函数。于该植入器，其第一植入时间乃可被最佳化成为抽空时间的函数。