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发明名称 APPARATUS FOR MONITORING TEMPERATURE OF COLD TRAP FOR PVD CHAMBER FORMED A VACUUM
摘要
申请公布号 KR100484881(B1) 申请公布日期 2005.04.22
申请号 KR20020033777 申请日期 2002.06.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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