发明名称 METHOD FOR FORMING GATE OXIDE
摘要
申请公布号 KR20050052623(A) 申请公布日期 2005.06.03
申请号 KR20030085793 申请日期 2003.11.28
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 WOO, SANG HO;EUN, YONG SEOK;SONG, CHANG ROCK;KIM, SU HO
分类号 H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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