压印制程

摘要

一种压印(Imprinting)制程，至少包括提供一压印模板，其中此压印模板之一表面具有一图案；形成一热稳定高分子聚合物层覆盖于上述压印模板之表面上，其中此热稳定高分子聚合物层填平压印模板之图案，而使热稳定高分子聚合物层之表面上具有相对于图案之互补图案；形成一光阻层覆盖于热稳定高分子聚合物层上；形成一透明基材覆盖在光阻层上；进行一照射步骤，藉以使光阻层产生聚合；移除压印模板；以及进行一图案化步骤，藉以将热稳定高分子聚合物层上之互补图案转移至透明基材上。